MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：37
- 题名/责任者:
- 半导体工艺/(美)K.A.杰克逊(Kenneth A.Jackson)主编 屠海令等译校
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,1999
- ISBN及定价:
- 7-03-007260-X 精装/RMB85
- 载体形态项:
- 627页;26cm
- 并列正题名:
- Processing of semiconductors
- 丛编项:
- 材料科学与技术丛书 Materials science and technology;16
- 个人责任者:
- 杰克逊 K.A. 主编
- 个人责任者:
- Jackson Kenneth A. 主编
- 个人次要责任者:
- 屠海令 译校
- 学科主题:
- 半导体工艺-研究
- 中图法分类号:
- TN305
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