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MARC状态:审校  文献类型:中文图书 浏览次数:50 

题名/责任者:
多弧离子镀沉积过程的计算机模拟/赵时璐著
出版发行项:
北京:冶金工业出版社,2013
ISBN及定价:
978-7-5024-6227-7/CNY26.00
载体形态项:
232页:图;21cm
个人责任者:
赵时璐
学科主题:
计算机模拟-应用-离子镀-研究
中图法分类号:
TG174.444-39
书目附注:
有书目 (第227-232页)
提要文摘附注:
本书系统介绍了多弧离子镀沉积过程的计算机模拟。全书共分13章,主要内容包括:绪论;真空镀膜技术的介绍;多弧离子镀沉积过程模拟的理论基础;多弧离子镀物理过程的分析;计算机模拟技术;数学模型的建立;程序的编制等。
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