MARC状态：审校 文献类型：西文图书 浏览次数：16
- 题名/责任者:
- The science and engineering of microelectronic fabrication = 微电子制造科学原理与工程技术 / Stephen A. Campbell著.
- 版本说明:
- 2nd ed.
- 出版发行项:
- Beijing : Publishing House of Electronics Industry, 2003.
- ISBN:
- 7505386263 (pbk.)
- 载体形态项:
- 14, 603 p. : ill. ; 24 cm.
- 变异题名:
- 微电子制造科学原理与工程技术
- 丛编题名:
- 国外电子与通信教材系列
- 个人责任者:
- Campbell, Stephen A., 1954-
- 论题主题:
- Semiconductors-Design and construction.
- 中图法分类号:
- TN405
- 中图法分类号:
- TN302
- 书目附注:
- Includes bibliographical references and index.
- 原版附注:
- Reprint. Originally published: New York : Oxford University Press, 2001. 2nd ed. 0195136055.
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