MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：21
- 题名/责任者:
- 微机电系统力学/高世桥, 刘海鹏著
- 出版发行项:
- 北京:国防大学出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-118-05566-5/CNY28.00
- 载体形态项:
- 249页:图;20cm
- 个人责任者:
- 高世桥, 1961- 著
- 个人责任者:
- 刘海鹏, 1973- 著
- 学科主题:
- 机电系统-系统动力学
- 学科主题:
- 微电机-系统动力学
- 中图法分类号:
- TH-39
- 中图法分类号:
- TM380.13
- 书目附注:
- 有书目 (第239-249页)
- 提要文摘附注:
- 微机电系统(MEMS)技术的发展突飞猛进，涵盖的领域日渐宽广，市场前景及对国民经济的影响日益广阔，人们对其原理、特性及规律的研究和认识也日趋深入。微机电系统的特征尺寸在微纳米范围，尺度上存在特殊性。但它并不是宏观机电系统的简单缩小，更不是微电子技术的简单外延。在微纳米尺度范围内，微结构的力学行为并不完全相似于宏观的结构，微机械的运动也并不完全相似于宏观的机械。材料本身的特性在微纳米尺度下也出现了新的值得探索的状况和问题。事实上，微机电系统技术的难度核心主要不是表现在微电子方面，而是表现在微机械或微结构方面，表现在微机械(或微结构)与微电子的有机结合方面。微机械的运动、微结构的变形、电子与机械的能量转换、微系统的智能控制等都是微机电系统的技术核心。
全部MARC细节信息>>