MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：21
- 题名/责任者:
- 抗蚀剂及其微细加工技术/顾振军,孙 猛主编
- 出版发行项:
- 上海:上海交通大学出版社,1989.3
- ISBN及定价:
- 7-313-00617-9/$6.50
- 载体形态项:
- 236页;26厘米
- 编目员补充题名:
- 抗蚀剂 微细 加工 技术
- 个人责任者:
- 顾振军 主编
- 个人责任者:
- 孙猛 主编
- 学科主题:
- 集成电路 - 耐蚀材料
- 学科主题:
- 耐蚀材料 - 集成电路
- 学科主题:
- 集成电路工艺
- 中图法分类号:
- TQ047
- 提要文摘附注:
- 本书以作为微电子器制造时的核心的抗蚀剂及其微细加工技术为对象,就其定义、沿革、工艺、反应理论、配套技术、各类抗蚀剂、分析测试及应用、展望等进行了全面详述。
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