MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：15
- 题名/责任者:
- 半导体集成电路制造手册/(美)耿怀玉等著 赵树武等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-121-03281-3 精装/CNY168.00
- 载体形态项:
- 16，732页:图;27cm
- 个人责任者:
- 耿怀玉 (美) 著
- 个人次要责任者:
- 赵树武 译
- 学科主题:
- 半导体集成电路-教材-集成电路工艺
- 中图法分类号:
- TN430.5
- 一般附注:
- 本书中文简体字翻译版由电子工业出版社和美国麦格劳-希尔教育（亚洲）出版公司合作出版。
- 题名责任附注:
- 书名原文：Semiconductor Manufacturing Handbook
- 提要文摘附注:
- 内容综合性很强，涵盖半导体生产过程的方方面面。所涉及技术，工艺，设备等均为当今半导体工业先进水平。对国内半导体行业的指导意义很强。同时采用背景知识结合生产运营的介绍方式，更为有帮助的是该书中链接了很多非常有帮助的参考文献的信息，对读者来说它是很难得的大信息库。
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