MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：44
- 题名/责任者:
- 薄膜微带电路工艺技术/白浩, 王平主编
- 出版发行项:
- 西安:西安电子科技大学出版社,2020
- ISBN及定价:
- 978-7-5606-5874-2 精装/CNY58.00
- 载体形态项:
- 157页:图;24cm
- 个人责任者:
- 白浩 主编
- 个人责任者:
- 王平 主编
- 学科主题:
- 薄膜集成电路
- 学科主题:
- 微波集成电路
- 中图法分类号:
- TN45
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书系统介绍了薄膜微带电路的制作流程、关键制成工艺、常见质量问题及解决方法等。共12章，主要内容包括绪论、真空技术、常见基板表面成膜方法、薄膜电路基材、常用薄膜材料、光刻、电镀金、薄膜电阻、外形加工、薄膜工艺中的其他重点技术、薄膜电路常见质量问题及注意事项、薄膜微带电路质量检验方法。
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