MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：20
- 题名/责任者:
- 微光机电系统/(日) 泽田廉士, 羽根一博, 日暮荣治著 李元燮译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2005
- ISBN及定价:
- 7-03-013313-7/CNY38.00
- 载体形态项:
- viii, 347页:图;24cm
- 并列正题名:
- Optical MEMS / MOEMS
- 并列正题名:
- 光ムイクロムツソ
- 个人责任者:
- 泽田廉士 著
- 个人责任者:
- 羽根一博 著
- 个人责任者:
- 日暮荣治 著
- 个人次要责任者:
- 李元燮 译
- 学科主题:
- 光电子技术-机电一体化-研究
- 学科主题:
- 微电子技术-机电一体化-研究
- 中图法分类号:
- TN2
- 中图法分类号:
- TH-39
- 出版发行附注:
- 本书实际出版年是2004年
- 相关题名附注:
- 日文并列题名取自半书名页
- 书目附注:
- 有书目 (第329-333页) 和索引
- 提要文摘附注:
- 本书共由三篇构成。第1篇重点介绍微光机电系统在各领域中的应用, 即光开关、反射镜阵列、衰减器、显示器、扫描仪、分光计、波长可变光学元件、执行器、 可动结构体、传感与传感器等; 第2篇是微光机电系统光学, 主要介绍微光机电系统中应用的光学原理, 即光的反射及折射、干涉、衍射、自由空间光学、光辐射压、近场光学等; 第3篇主要介绍材料、制造、封装等。
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