MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：43
- 题名/责任者:
- 微机电系统设计:建模、仿真与可视化/卢桂章, 赵新著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-03-029220-9 精装/CNY56.00
- 载体形态项:
- 278页:图;25cm
- 其它题名:
- 建模、仿真与可视化
- 丛编项:
- 半导体科学与技术丛书
- 个人责任者:
- 卢桂章 著
- 个人责任者:
- 赵新 著
- 学科主题:
- 微电机-系统设计
- 中图法分类号:
- TM380.2
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书建立了一种微电子机械器件的设计方法，对现有设计系统功能作了一些重要的补充和完善，其基本思路是在设计阶段，当版图和工艺设计完成后，通过建立运动部件的动态模型，进行三维可视化仿真，形成器件在虚拟环境中运行，从而对器件的运动功能进行评测。
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