MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：36
- 题名/责任者:
- 微机电系统工程基础/王琪民, 刘明侯, 秦丰华编著
- 出版发行项:
- 合肥:中国科学技术大学出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-312-02468-9/CNY38.00
- 载体形态项:
- x, 370页, [2] 页图版:图 (部分彩图);23cm
- 个人责任者:
- 王琪民 编著
- 个人责任者:
- 刘明侯 编著
- 个人责任者:
- 秦丰华 编著
- 学科主题:
- 微电机-系统工程-高等学校-教材
- 学科主题:
- 机电系统-微型机械-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TM38-43
- 中图法分类号:
- TH16
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共11章，较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和尺度传热的基础知识等。
- 使用对象附注:
- 普通高等教育“十一五”国家级规划教材
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