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MARC状态:审校  文献类型:中文图书 浏览次数:20 

题名/责任者:
硅微机械传感器/郑志霞著
出版发行项:
杭州:浙江大学出版社,2012
ISBN及定价:
978-7-308-10879-9/CNY35.00
载体形态项:
199页:图;26cm
并列正题名:
Mechanical microsensors
个人责任者:
郑志霞
学科主题:
传感器
中图法分类号:
TP212.12
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书围绕硅微机械传感器的基本原理、工艺技术、应用领域及接口电路等几个方面展示了介绍和讨论。
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