MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：46
- 题名/责任者:
- 微机电系统设计与加工/(美) Mohamed Gad-el-Hak编 张海霞, 赵小林等译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-111-28597-7 精装/CNY63.00
- 载体形态项:
- x, 536页, [4] 页图版:图;27cm
- 丛编项:
- 国际机械工程先进技术译丛
- 个人责任者:
- 加德 (Gad-el-Hak, Mohamed) 编
- 个人次要责任者:
- 张海霞 译
- 个人次要责任者:
- 赵小林 译
- 学科主题:
- 微电机-系统设计
- 学科主题:
- 微电机-加工
- 中图法分类号:
- TM38
- 版本附注:
- 据英文版译出
- 责任者附注:
- 责任者Gad规范中译姓: 加德
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识.
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