MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：26
- 题名/责任者:
- MOS集成电路结构与制造技术/潘桂忠编著
- 出版发行项:
- 上海:上海科学技术出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-5323-9990-1/CNY68.00
- 载体形态项:
- 434页:图;26cm
- 个人责任者:
- 潘桂忠 编著
- 学科主题:
- MOS集成电路
- 中图法分类号:
- TN432
- 书目附注:
- 有书目 (第429页)
- 提要文摘附注:
- 本书利用集成电路剖面结构技术，系统地介绍了MOS集成电路结构和典型集成电路制造技术，书中描绘出组成各种集成电路的各种元器件工艺剖面结构，从而建立元器件工艺剖面结构中高达120余种的基本单元库。根据基本单元库描绘出高达360余种电路芯片工艺剖面结构。
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