MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：12
- 题名/责任者:
- 半导体材料/杨树人, 王宗昌, 王兢编著
- 版本说明:
- 第2版
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-03-012817-6/CNY26.00
- 载体形态项:
- 264页:图;24cm
- 丛编项:
- 21世纪高等院校教材
- 个人责任者:
- 杨树人 编著
- 个人责任者:
- 王宗昌 编著
- 个人责任者:
- 王兢 编著
- 学科主题:
- 半导体材料-高等院校-教材
- 中图法分类号:
- TN304-43
- 中图法分类号:
- TN304
- 书目附注:
- 有书目 (第264页)
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍了半导体材料硅、砷化镓制备原理, 工艺和特性的控制。全书分为11章。第1章介绍了锗和硅的化学制备; 第2章介绍了区熔提纯; 第3章为晶体生长; 第4章为硅、锗晶体中的杂质和缺陷; 第5章为硅外延生长; 第6、7章介绍了Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体及其外延生长。第8章介绍了Ⅲ-Ⅴ族多元化合物半导体。第9章介绍了Ⅱ－Ⅵ族化合物半导体。第10章介绍了氧化物半导体材料。第11章介绍了其他半导体材料。
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