MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：21
- 题名/责任者:
- 纳机电基础效应与器件/张文栋等著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2011
- ISBN及定价:
- 978-7-03-032282-1 精装/CNY80.00
- 载体形态项:
- 322, 40页, 40页图版:图 (部分彩图);25cm
- 丛编项:
- 纳米科学技术大系
- 个人责任者:
- 张文栋 (教授) 著
- 学科主题:
- 纳米技术-应用-机电器件-研究
- 中图法分类号:
- TM303
- 一般附注:
- 国家科学技术学术著作出版基金资助出版
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书系统地论述了纳机电器件的基本概念、尺度效应和耦合问题，纳机电器件基础结构的制造、测试和表征方法，并对纳机电加速度传感器、纳机电声传感器、纳机电谐振器、微流体角速度传感器等典型纳机电器件进行了深入阐释。
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