MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:35
- 题名/责任者:
- 纳米压印技术/周伟民 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-03-032559-4 精装/CNY68.00
- 载体形态项:
- 255页:图;25cm
- 个人责任者:
- 周伟民 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-应用-微电子技术
- 中图法分类号:
- TN405.7
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状;然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等,并着重阐述了纳米压印加工制造技术;此外,还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。
全部MARC细节信息>>