MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：25
- 题名/责任者:
- 微米纳米器件测试技术/张文栋等编著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-118-07897-8/CNY88.00
- 载体形态项:
- 259页:图;24cm
- 丛编项:
- 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列
- 个人责任者:
- 张文栋 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-微电子技术-电子器件-测试技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 出版发行附注:
- 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 总装备部国防科技图书出版基金资助
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要内容有微纳测试技术概述、微纳几何量测试技术、微纳动态测试技术、微纳力学量测试技术、MEMS在线测试技术、典型微纳器件测试技术等。
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