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- 题名/责任者:
- 光刻胶材料评测技术:从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶/(日) 关口淳著 方书农译
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-122-43800-3 精装/CNY198.00
- 载体形态项:
- 254页:彩图;27cm
- 其它题名:
- 从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶
- 个人责任者:
- 关口淳 著
- 个人次要责任者:
- 方书农 译
- 学科主题:
- 光致抗蚀剂
- 中图法分类号:
- TQ572.4
- 责任者附注:
- 关口淳, 1983年毕业于芝浦工业大学工学部应用化学系。进入日本化学科技公司, 在其分析研究所工作。1985年加入住友GCA公司。
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书从光刻技术基础知识出发, 系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术, 以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术, 希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。
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