MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：40
- 题名/责任者:
- 半导体制造技术/(美) Michael Quirk，Julian Serda著 韩郑生等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-121-26083-4/CNY79.00
- 载体形态项:
- 14, 600页:图;26cm
- 丛编项:
- 国外电子与通信教材系列
- 个人责任者:
- 夸克 (Quirk, Michael), 1953- 著
- 个人责任者:
- 瑟达 (Serda, Julian) 著
- 个人次要责任者:
- 韩郑生 译
- 学科主题:
- 半导体工艺-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN305
- 出版发行附注:
- 由Pearson Education授予出版
- 责任者附注:
- 责任者Quirk规范汉译姓: 夸克; 责任者Serda规范汉译姓: 瑟达
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了各种新技术资料，学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的工艺模型概况，用流程图将硅片制造的主要领域连接起来；具体讲解每一个主要工艺；集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外，各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题，这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。
- 使用对象附注:
- 本书适合作为高等院校微电子技术专业的教材, 也可作为从事半导体制造与研宄人员的参考书及公司培 训员工的标推教材
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