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MARC状态:审校  文献类型:中文图书 浏览次数:24 

题名/责任者:
微机电系统基础/(美) 盖德主编 赵永梅, 段瑞飞, 季安译
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2017
ISBN及定价:
978-7-111-55733-3 精装/CNY169.00
载体形态项:
XIII, 394页:图;27cm
统一题名:
MEMS introduction and fundamentals
丛编项:
国际制造业先进技术译丛
个人责任者:
盖德 (Gad-el-Hak, Mohamed) 主编
个人次要责任者:
赵永梅
个人次要责任者:
段瑞飞
个人次要责任者:
季安
学科主题:
微电子技术
中图法分类号:
TN4
版本附注:
据原书第2版译出
出版发行附注:
由Taylor & Francis出版集团旗下CRC出版公司出版, 并经其授权翻译出版,仅限中国大陆地区销售
相关题名附注:
英文题名取自封面
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书是MEMS手册中的基础部分, 提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等内容,还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。
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TN4/188 A1783900   自科借阅2(T)(113室)     导航 可借 自科借阅2(T)(113室)
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