MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：30
- 题名/责任者:
- MEMS技术及其应用/李德胜 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2002
- ISBN及定价:
- 7-5603-1694-8/CNY18.00
- 载体形态项:
- 301页:图;21cm
- 展开题名(连续出版物):
- Micro electro mecjanical systems技术及其应用
- 个人责任者:
- 李德胜 编著
- 个人责任者:
- 王东红 编著
- 个人责任者:
- 孙金玮 编著
- 个人责任者:
- 金鹏 编著
- 学科主题:
- 微电机
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- 国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著基金资助出版
- 题名责任附注:
- 本书编著李德胜、王东红、孙金玮、金鹏。
- 书目附注:
- 有书目 (第298-301页)
- 提要文摘附注:
- 本书共分八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。具体内容有: 绪论, MEMS基础理论、微机械制造技术、MEMSCAAD辅助分析设计, 微传感器、微操作器、微机电系统、生物芯片。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 定位信息 | 书刊状态 |
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| TM38/10 | A0769218 | - | 自科借阅2(T)(113室) | 导航 | 可借 |
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