MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：21
- 题名/责任者:
- 微机电系统基础/(美) 盖德主编 赵永梅, 段瑞飞, 季安译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2017
- ISBN及定价:
- 978-7-111-55733-3 精装/CNY169.00
- 载体形态项:
- XIII, 394页:图;27cm
- 丛编项:
- 国际制造业先进技术译丛
- 个人责任者:
- 盖德 (Gad-el-Hak, Mohamed) 主编
- 个人次要责任者:
- 赵永梅 译
- 个人次要责任者:
- 段瑞飞 译
- 个人次要责任者:
- 季安 译
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 版本附注:
- 据原书第2版译出
- 出版发行附注:
- 由Taylor & Francis出版集团旗下CRC出版公司出版, 并经其授权翻译出版，仅限中国大陆地区销售
- 相关题名附注:
- 英文题名取自封面
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书是MEMS手册中的基础部分, 提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等内容，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。
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