MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：15
- 题名/责任者:
- 微电子工艺基础/李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-5025-9520-3/CNY29.80
- 载体形态项:
- 257页:图;26cm
- 个人责任者:
- 李薇薇 编著
- 个人责任者:
- 王胜利 编著
- 个人责任者:
- 刘玉岭 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-生产工艺
- 中图法分类号:
- TN405
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共分10部分，主要内容包括硅材料及硅化合物化学性质，微电子技术中的高纯水制备，微电子技术中的化学清洗，氧化工艺技术，扩散工艺技术，刻蚀工艺技术等部分。
- 使用对象附注:
- 高等院校相关师生，及教师和研究生
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