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MARC状态：审校　 文献类型：中文图书　浏览次数：31　

题名/责任者:
微光机电系统:MOEMS/张文栋, 熊继军编著
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2006
ISBN及定价:
7-111-19266-4/CNY28.00
载体形态项:
310页:图;24cm
丛编项:
光机电一体化技术丛书
个人责任者:
张文栋 编著
个人责任者:
熊继军 编著
学科主题:
微光技术-应用-机电系统
中图法分类号:
TH-39
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件地结构设计与仿真，常用地微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。
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