MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：28
- 题名/责任者:
- 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统/Rebecca Cheung著 王晓浩, 唐飞, 王文弢译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-03-026862-4/CNY35.00
- 载体形态项:
- 121页:图;24cm
- 丛编项:
- 微纳技术著作丛书
- 个人责任者:
- 张 (Cheung, Rebecca) 著
- 个人次要责任者:
- 王晓浩 译
- 个人次要责任者:
- 唐飞 译
- 个人次要责任者:
- 王文弢 译
- 学科主题:
- 半导体材料-微电子技术-研究
- 中图法分类号:
- TN304
- 责任者附注:
- CIP题责任者汉译姓：张
- 书目附注:
- 有书目。
- 提要文摘附注:
- 本书系统论述碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。
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