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MARC状态：审校　 文献类型：中文图书　浏览次数：24　

题名/责任者:
微电机结构工艺学/张子忠编
出版发行项:
哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,1988.11
ISBN及定价:
7-5603-0080-4/$3.50
载体形态项:
291页;26厘米
编目员补充题名:
微电机 结构 工艺学
个人责任者:
张子忠 编
学科主题:
微电机 - 工艺学
学科主题:
工艺学 - 微电机
非控制主题词:
微电机 电机 结构 工艺学
中图法分类号:
TM305
中图法分类号:
TM380.3
提要文摘附注:
本书主要介绍微电机的结构、制造工艺和结构工艺性等问题。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 定位信息 书刊状态 还书位置
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