MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：29
- 题名/责任者:
- 纳米压印技术/孙洪文著
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2011.1
- ISBN及定价:
- 978-7-121-12199-9/CNY36.00
- 载体形态项:
- xi, 190页:图;23cm
- 个人责任者:
- 孙洪文 著
- 学科主题:
- 纳米材料-应用-微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 书目附注:
- 有书目 (第174-190页)
- 提要文摘附注:
- 本书详细介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法, 它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构, 而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。
- 使用对象附注:
- 本书不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考, 也可供化学、生物、医学、光电子和磁学等领域的科研人员借鉴
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