MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：7
- 题名/责任者:
- SOI——纳米技术时代的高端硅基材料:advanced silicon-based materials for the nanotechnology era/林成鲁编著
- 出版发行项:
- 合肥:中国科学技术大学出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-312-02233-3/CNY88.00
- 载体形态项:
- 468页:图;24cm
- 并列正题名:
- SOI:advanced silicon-based materials for the nanotechnology era
- 丛编项:
- 当代科学技术基础理论与前沿问题研究丛书.中国科学技术大学校友文库
- 个人责任者:
- 林成鲁 编著
- 学科主题:
- 硅-纳米材料-文集
- 中图法分类号:
- TB383-53
- 一般附注:
- “十一五”国家重点图书
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书收集了纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇，主要内容包括：SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展、SOI新材料的制备科学、SOI材料与器件特有的物理效应、绝缘体上锗硅新结构和应变硅的制备科学、SOI技术的若干应用研究等。
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