MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：24
- 题名/责任者:
- 微机械与微细加工技术/苑伟政,马炳和编著
- 出版发行项:
- 西安:西北工业大学出版社,2000
- ISBN及定价:
- 7-5612-1274-7/CNY22.00
- 载体形态项:
- 243页;20cm
- 个人责任者:
- 苑伟政 编著
- 个人责任者:
- 马炳和 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-应用-机械加工
- 学科主题:
- 微电子技术
- 学科主题:
- 机械加工
- 中图法分类号:
- TH111
- 中图法分类号:
- TH-39
- 中图法分类号:
- TH111
- 版本附注:
- 西北工业大学出版基金资助出版
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构、微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术等。
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