MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：1
- 题名/责任者:
- 原子层沉积制造技术及生物传感应用/刘磊著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-122-45124-8 精装/CNY158.00
- 载体形态项:
- 224页:图;25cm
- 个人责任者:
- 刘磊 著
- 学科主题:
- 纳米技术-应用-生物传感器-研究
- 中图法分类号:
- Q811.4
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用, 共分7章, 主要内容包括原子层沉积 (ALD) 技术的基本原理、特点、系统和工作模式, 聚焦于ALD技术的拓展, 涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用, 重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展, 在阐明ALD技术基本原理的同时, 介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。
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